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  • 硅基MEMS制造技术(精)/集成电路系列丛书
  • 所属分类:工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表    作者:编者:王跃林//吴国强|责编:张剑//柴燕|总主编:王阳元    出版社:电子工业
  • 丛书项:集成电路系列丛书
  • 随着MEMS技术的不断成 熟和全面走向应用,MEMS 芯片的量产问题变得越来越 重要。显然MEMS芯片的量 产必须在集成电路生产线上 进行,但是MEMS芯片制造 与集成电路制造相比有明显 不同,这使得集成电路生产 线在转型制造MEMS芯片时 会遇到一些特殊的工艺问题 。本书主要围绕如何利用集 成电路平面工艺制造三维微 机械结构,进而实现硅基 MEMS芯片的批量制造,系 统介绍了硅基MEMS芯片制 造技术。由于MEMS涉及学 科较多,为了让不同学科背 景的人能够快速读懂本书, 本书先对MEMS的来龙去脉 及MEMS出现的原因进行了 简单介绍,然后详细介绍了 相关内容,尽量做到通俗易 懂。希望读者通过本书能全 面了解硅基MEMS芯片制造 技术,为从事与MEMS相关 的工作打下基础。 本书适合从事MEMS芯片 研发的科技人员阅读使用, 也可作为高等学校相关专业 的教学用书。
  • 售价:55.20

  • 液压多路阀原理及应用实例/液压气动经典图书元件系列
  • 所属分类:工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表    作者:编者:吴晓明|责编:张秀恩//刘本明    出版社:机械工业
  • 丛书项:液压气动经典图书元件系列
  • 本书系燕山大学吴晓 明教授总结多年的教学与 科研实践经验,从工程应 用出发,编著的一本多路 阀技术书籍。其主要内容 包括:液压基础知识;多 路阀技术基础;多路阀的 结构组成;常用多路阀控 制回路;典型多路阀的结 构和工作原理;多路阀的 维护、保养和故障排除; 多路阀在液压挖掘机上的 应用。 本书适合液压专业的 科研人员,设计、制造调 试和使用维护部门的工程 技术人员,工程机械现场 工作人员,大专院校有关 专业师生使用。
  • 售价:35.60

  • 面向智能制造的AGV路径规划与自主协同控制/工业智能与工业大数据系列
  • 所属分类:工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表    作者:姚锡凡//王柯赛//姜俊杰//胡晓阳|责编:刘志红    出版社:电子工业
  • 丛书项:工业智能与工业大数据系列
  • 本书包含面向智能制造 的AGV需求而开展的路径规 划与自主协同控制两大主题 内容。首先分析了智能制造 的发展现状与发展趋势,并 由此引出了面向新一代智能 制造的AGV物料运输需求; 其次介绍了两大主题的关键 基础技术——同时定位与建 图(SLAM)技术;然后重 点论述了常见智能优化算法 (包括GA、GWO算法、FA 、Q-Learning算法)和多 AGV协同控制;最后给出了 应用AGV进行物料运输的智 能制造系统案例。 本书适合从事人工智能 、智能制造的科研人员和工 程技术人员及管理人员阅读 ,也适合相关专业的高年级 本科生和研究生阅读或作为 辅助教材使用。
  • 售价:39.20
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