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无铁芯永磁同步平面电机设计与应用(精)/先进光刻机关键技术与应用
所属分类:
电子电脑
>>
电工无线电自动化
>>
电工技术
作者:
朱煜//张鸣//胡楚雄//胡金春|责编:孙力维//赵艳春
出版社:
科学
丛书项:
先进光刻机关键技术与应用
本书聚焦无铁芯永磁同 步平面电机技术,系统阐述 其设计理论、关键技术及工 程应用。针对光刻等前沿领 域对多自由度高精度运动平 台的需求,梳理磁浮平面电 机从一维到二维磁钢阵列的 技术演进,剖析典型构型特 点与应用场景。重点围绕建 模、驱动、控制三大环节, 构建二维周期与非周期磁场 下的统一推力模型,探讨刚 体/柔体动力学电流分配策 略、计算驱动方法及多轴解 耦控制技术,并通过大行程 模块化电机与动磁式电机并 行优化设计实例,展现理论 与工程实践的结合。 全书融合理论建模、控 制算法与实验验证,为精密 制造、自动化物流等领域提 供从基础原理到应用设计的 技术框架,适合相关科研人 员及工程技术人员参考。
售价:
47.20
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