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安徽省电网土壤腐蚀等级地图
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>电工技术作者：编者:张洁//缪春辉|责编:张择瑞出版社：合肥工业大学
为全面掌握安徽电网区域土壤腐蚀等级，为不同土壤腐蚀环境下的电网设备差异化防腐设计提供数据支撑，本书针对全省变电站的土壤环境进行调查研究，主要通过标准土壤腐蚀实验，开展输变电工程土壤环境下的现场选点、埋样工作，到期对现场埋样腐蚀速率进行收集，进而绘制安徽省电网土壤土壤等级地图。安徽省电网土壤腐蚀分级地图的绘制工作，可以有效开展差异化防腐蚀设计，制定有效的防腐蚀措施，对确保电网设备的安全稳定运行起着至关重要的作用。
售价：19.20

半导体干法刻蚀技术(原书第2版)/集成电路科学与工程丛书
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：(日)野尻一男|责编:刘星宁//闾洪庆|译者:王文武//许恒宇//王盛凯//李俊杰//王彩萍等出版社：机械工业
丛书项：集成电路科学与工程丛书
本书是一本全面系统的干法刻蚀技术论著。针对干法刻蚀技术，在内容上涵盖了从基础知识到最新技术，使初学者能够了解干法刻蚀的机理，而无需复杂的数值公式或方程。本书不仅介绍了半导体器件中所涉及材料的刻蚀工艺，而且对每种材料的关键刻蚀参数、对应的等离子体源和刻蚀气体化学物质进行了详细解释。本书讨论了具体器件制造流程中涉及的干法刻蚀技术，介绍了半导体厂商实际使用的刻蚀设备的类型和等离子体产生机理，例如电容耦合型等离子体、磁控反应离子刻蚀、电子回旋共振等离子体和电感耦合型等离子体，并介绍了原子层沉积等新型刻蚀技术。
售价：35.60

等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用(第2版)/高端集成电路制造工艺丛书
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：编者:张海洋|责编:文怡出版社：清华大学
丛书项：高端集成电路制造工艺丛书
本书共10章，基于公开文献全方位地介绍了低温等离子体蚀刻技术在半导体产业中的应用及潜在发展方向。以低温等离子体蚀刻技术发展史开篇，对传统及已报道的先进等离子体蚀刻技术的基本原理做相应介绍，随后是占据了本书近半篇幅的逻辑和存储器产品中等离子体蚀刻工艺的深度解读。此外，还详述了逻辑产品可靠性及良率与蚀刻工艺的内在联系，聚焦了特殊气体及特殊材料在等离子体蚀刻方面的潜在应用。最后是先进过程控制技术在等离子体蚀刻应用方面的重要性及展望，以及虚拟制造在集成电路发展中的应用。本书可以作为从事等离子体蚀刻工艺研究和应用的研究生、科研人员和工程技术人员的参考书籍。
售价：59.60

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