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半导体干法刻蚀技术(原书第2版)/集成电路科学与工程丛书
所属分类：
电子电脑
>>
电工无线电自动化
>>
无线电电子.电讯
作者：
(日)野尻一男|责编:刘星宁//闾洪庆|译者:王文武//许恒宇//王盛凯//李俊杰//王彩萍等
出版社：
机械工业
丛书项：
集成电路科学与工程丛书
本书是一本全面系统的 干法刻蚀技术论著。针对干 法刻蚀技术，在内容上涵盖 了从基础知识到最新技术， 使初学者能够了解干法刻蚀 的机理，而无需复杂的数值 公式或方程。本书不仅介绍 了半导体器件中所涉及材料 的刻蚀工艺，而且对每种材 料的关键刻蚀参数、对应的 等离子体源和刻蚀气体化学 物质进行了详细解释。本书 讨论了具体器件制造流程中 涉及的干法刻蚀技术，介绍 了半导体厂商实际使用的刻 蚀设备的类型和等离子体产 生机理，例如电容耦合型等 离子体、磁控反应离子刻蚀 、电子回旋共振等离子体和 电感耦合型等离子体，并介 绍了原子层沉积等新型刻蚀 技术。
售价：
35.60
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用(第2版)/高端集成电路制造工艺丛书
所属分类：
电子电脑
>>
电工无线电自动化
>>
无线电电子.电讯
作者：
编者:张海洋|责编:文怡
出版社：
清华大学
丛书项：
高端集成电路制造工艺丛书
本书共10章，基于公开 文献全方位地介绍了低温等 离子体蚀刻技术在半导体产 业中的应用及潜在发展方向 。以低温等离子体蚀刻技术 发展史开篇，对传统及已报 道的先进等离子体蚀刻技术 的基本原理做相应介绍，随 后是占据了本书近半篇幅的 逻辑和存储器产品中等离子 体蚀刻工艺的深度解读。此 外，还详述了逻辑产品可靠 性及良率与蚀刻工艺的内在 联系，聚焦了特殊气体及特 殊材料在等离子体蚀刻方面 的潜在应用。最后是先进过 程控制技术在等离子体蚀刻 应用方面的重要性及展望， 以及虚拟制造在集成电路发 展中的应用。 本书可以作为从事等离 子体蚀刻工艺研究和应用的 研究生、科研人员和工程技 术人员的参考书籍。
售价：
59.60
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