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工业加速器及其应用

  • 定价: ¥98
  • ISBN:9787121413346
  • 开 本:16开 平装
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  • 出版社:电子工业
  • 页数:326页
  • 作者:编者:(美)罗伯特...
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  • 2021-06-01 第1版
  • 2021-06-01 第1次印刷
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导语

  

    本书共八章,每一章都涵盖了一类工业加速器的应用。第一章用于制造半导体器件和材料的离子注入;第二章电子束材料加工;第三章电子束材料辐照装置;第四章加速器生产放射性核素;第五章工业方面的离子束分析;第六章利用粒子加速器生产中子与中子应用;第七章电子直线加速器在无损检测中的应用;第八章同步辐射的工业应用。作者以一种对专家和非专家同样适用的方式,综述了每一类加速器的历史、技术和具体应用的现状。依靠可靠数据,提供了按应用细分的市场规模,在某些情况下还包括最终产品的市场价值。

内容提要

  

    本书对工业加速器的产业沿革做了全面、客观的回顾,通过大量翔实的数据资料,对各个细分市场的商业和经济影响进行了分析和评述,并对工业加速器产业的发展趋势和前景进行了展望。
    本书可供核工程与核技术及相关专业高校师生、科技工作者、核技术应用领域的从业者、政府部门的相关人士等参考使用。

目录

工业加速器介绍
第1章  用于制造半导体器件和材料的离子注入
  1.1  引言
  1.2  离子注入的应用:器件和材料
    1.2.1  预非晶化
    1.2.2  鸡尾酒注入
    1.2.3  拉伸应力应变nMOS的碳注入
    1.2.4  直接制备绝缘体上硅晶片的氧注入
    1.2.5  通过层转移制备绝缘体上硅晶片的氢注入
  1.3  加速器的设计
    1.3.1  束线系统类型
    1.3.2  加速一减速束线
    1.3.3  MeV束线
    1.3.4  等离子体浸没和离子喷淋注入机
    1.3.5  注氧隔离大电流高温注入机
  1.4  离子源设计
    1.4.1  弗里曼离子源、伯纳斯离子源
    1.4.2  特殊离子源:sIMOX、分子离子、非易失性元件和大面积光束
  1.5  扫描方法
    1.5.1  正交方向的束偏转和晶片运动
    1.5.2  转盘式和摆式晶片扫描
  1.6  新方向:气体团簇离子、光伏电池掺杂和用于硅膜切割的MeV质子
    1.6.1  气体团簇离子
    1.6.2  硅基光伏电池的掺杂
    1.6.3  用于制备薄硅光伏膜的MeV强流质子
  1.7  金属和生物材料的注入
    1.7.1  金属:硬度、摩擦和腐蚀
    1.7.2  等离子体浸没注入和沉积处理的生物材料
  1.8  总结
  1.9  参考文献
第2章  电子束材料加工
  2.1  引言
  2.2  电子束设备
    2_3电子束焊接
    2.3.1  大型汽轮机
    2.3.2  高效叶轮
  2.3  -3变速齿轮
    2.3.4  传动环
  2.4  电子束切割和钻孔
  2.5  。电子束热处理
  2.6  电子束熔炼和铸造
  2.7  总结和未来趋势
  2.8  参考文献
第3章  电子束材料辐照装置
  3.1  引言
  3.2  高能电子和x射线的物理特性
    3.2.1  高能电子
    3.2.2  高能x射线
  3.2  _3辐射剂量测量
    3.2.4  剂量与电子束功率
    3.2.5  剂量与电子束流的关系
    3-3工业电子束加速器
  3-3.1  低能电子束加速器
    3.3.2  中能加速器
    3-3-3高能加速器
  3.4  工业电子束辐照装置的主要应用
    3.4.1  材料的交联
    3.4.2  医疗器械的辐射灭菌
    3.4.3  食品辐照
  3.5  其他电子束辐射应用
    3.5.1  废物处理
    3.5.2  烟气净化
  3.5  -3复合材料的固化
    3.5.4  碳化硅纤维的制备
    3.5.5  燃料电池的生产
    3.5.6  聚四氟乙烯和橡胶交联
    3.5.7  种子和土壤灭虫
    3.5.8  人体组织辐射灭菌
    3.5.9  直接接触食品的涂料
  3.6  总结
  3.7  参考文献
第4章  加速器生产放射性核素
  4.1  引言
  4.2  放射性核素的应用
    4.2.1  放射性示踪剂
    4.2.2  核医学成像
    4.2.3  治疗和其他医学应用
    4.2.4  工业应用
  4.3  生产放射性核素的加速器
    4.3.1  回旋加速器
    4.3.2  直线加速器
    4.3.3  加速器的选择
  4.4  放射性核素生产的一般原则
    4.4.1  核反应
    4.4.2  优化生产
  4.5  加速器制靶
    4.5.1  阻止本领和能量损失
    4.5.2  能量分散
    4.5.3  小角度多次散射
    4.5.4  束加热和密度降低
    4.5.5  靶材的电离
    4.5.6  辐射损伤及活化
    4.5.7  化学反应
    4.5.8  压力增加
    4.5.9  束流聚焦
  4.6  结论和未来方向
  4.7  参考文献
第5章  工业方面的离子束分析
  5.1  工业中的离子束分析
  5.2  用于离子束分析的加速器
    5.2.1  级联加速器
    5.2.2  静电加速器
    5.2.3  串联(级联和静电)加速器
  5.3  定量分析
    5.3.1  引言
    5.3.2  PIxE技术
    5.3.3  PIGE技术
    5.3.4  加速器质谱仪
  5.4  深度剖面法
    5.4.1  引言
    5.4.2  RBS和ERDA测量的基本原理
    5.4.3  基于ERDA和RBS的定量分析
    5.4.4  卢瑟福背散射光谱法
    5.4.5  弹性反冲检测分析
    5.4.6  核反应分析
    5.4.7  带电粒子活化分析
  5.5  离子束分析工业装置
  5.6  参考文献
第6章  利用粒子加速器生产中子和中子应用
  6.1  引言
  6.2  中子产额
    6.2.1  离子反应
    6.2.2  使用光子的反应
  6.3  生产工业中子的加速器
    6.3.1  开放式真空系统
    6.3.2  密封管系统
    6.3.3  光中子系统
    6.3.4  其他电子中子源
  6.4  工业应用
    6.4.1  中子相互作用
    6.4.2  地球物理勘探
    6.4.3  计量和射线照相
    6.4.4  实验室活化分析
    6.4.5  生物医学应用
    6.4.6  散装材料分析
    6.4.7  辐射效应测试
    6.4.8  违禁品、烈性炸药和化学品的检测
    6.4.9  保障措施用裂变材料分析
    6.4.10  裂变材料的筛选与安全检测
    6.4.11  其他应用
  6.5  总结和未来趋势
  6.6  参考文献
第7章  电子直线加速器在无损检测中的应用
  7.1  引言
    7.1.1  x射线用于无损检测的历史
    7.1.2  x射线机与电子直线加速器
  7.2  市场概况
    7.2.1  计算机层析成像
    7.2.2  计量学与逆向工程
    7.2.3  危险废品识别
    7.2.4  便携式检查应用
    7.2.5  同位素替代
    7.2.6  国土安全
    7.2.7  航空货物运输
  7.3  无损检测电子直线加速器技术
    7.3.1  无损检测加速器基础知识
  7-3.2  主要的子系统
  7.3  -3束流特性
  7.4  数字探测器
    7.4.1  高能数字探测器
    7.4.2  探测器性能
  7.5  传统的射线照相检测应用
    7.5.1  射线照相检测装置
    7.5.2  射线照相检测原理
    7.5.3  射线照相检测程序
  7.6  安全检查应用
    7.6.1  x射线货物检查
    7.6.2  其他创新
    7.6.3  检查x射线货物的趋势
  7.7  高能工业CT应用
    7.7.1  工程设计应用
    7.7.2  生产环境
  7.8  质量标准和测量
    7.8.1  半值层能量测量
    7.8.2  货物和车辆检查标准
    7.8.3  数据标准化
  7.9  总结
  7.10  参考文献
第8章  同步辐射的工业使用
  8.1  引言
  8.2  同步辐射:历史和特性
  8.3  基于同步辐射的工业应用技术
  8.4  同步辐射用于质量控制和法规要求的控制
    8.4.1  质量控制
    8.4.2  监管要求的控制
  8.5  用于生产的同步辐射
    8.5.1  用于制造微电子器件的x射线光刻技术
    8.5.2  深蚀刻x射线光刻和微细加工
  8.6  用于研究和开发的同步辐射
    8.6.1  生物技术、制药和化妆品
    8.6.2  汽车
    8.6.3  采矿业
  8.7  结束语
  8.8  参考文献
索引